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成都11月29日电(记者孙自法)由中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科学研究装备超分辨率光刻装备项目29日在成都通过检查，作为项目的重要成果之一，中国科学家已经是世界上分辨率最高的紫外
据中国科学院光电所所长、超分辨率光刻装备项目首席科学家罗先刚研究员介绍，2012年，该所承担了超分辨率光刻装备这个国家重大科研装备项目的研究开发任务，近7年来的困难 项目组突破了高均匀性照明、超分辨率光刻镜头、纳米级分辨率焦点和间隙测量和超精密、多自由度工作台和控制等关键技术，完成了国际上第一台分辨率最高的紫外超分辨率光刻装备，365纳米波长 在此基础上，项目组结合超分辨率光刻设备项目开发的高长宽比蚀刻、多重图案等辅助工艺，实现了10纳米以下的特征尺寸图案的加工。
这个世界上第一台分辨率最高的紫外超分辨率光刻装备是基于表面等离子体超衍射开发的，打破了以前传来的光学光刻分辨率被光源波长和透镜数值孔径限制的以前的传输路径结构，新的超衍射纳米光刻成为了原 拥有完全自主的知识产权，为超材料/超表面、第三代光学设备、广义芯片等转型战术行业的跨越式发展提供了制造工具。
检查专家认为，中科光电站开发的成功超分辨率光刻装备的所有技术指标都达到或超过了实施方案规定的评价指标要求，重要的技术指标达到了超分辨率成像光刻行业的国际领先水平。 该项目原理上突破分辨率衍射极限，建立高分辨率、大面积纳米光刻装备开发新路线，绕过国外高分辨率光刻装备技术知识产权壁垒，实现中国技术源创新，自主知识产权、技术自主控制
然后，利用开发成功的超分辨率光刻装备，制造了大口径薄膜镜、超导纳米线单光子检测器、切伦科夫辐射器、生化传感器芯片、超表面成像器等一系列纳米功能器件，验证了该纳米功能器件的加工能力
